1 F.. Holzmeier, K.M. Dorney, E.W. Larsen, T.. Nuytten, D.P. Singh, M.. van Setten, P.. Vanelderen, C.. Bargsten, S.L. Cousin, D.. Raymondson, E.. Rinard, R.. Ward, H.. Kapteyn, S.. Böttcher, O.. Dyachenko, R.. Kremzow, M.. Wietstruk, G.. Pourtois, P.. van der Heide, and J.. Petersen, Novel Patterning Technologies 2021 11610, (2021).