TY - JOUR AU - R. Peterson AU - T. Purdy AU - N. Kampel AU - R. Andrews AU - P.-L. Yu AU - Konrad Lehnert AU - Cindy Regal BT - Physical Review Letters DA - 2016-02 DO - 10.1103/PhysRevLett.116.063601 PY - 2016 EP - 063601 T2 - Physical Review Letters TI - Laser Cooling of a Micromechanical Membrane to the Quantum Backaction Limit UR - http://link.aps.org/doi/10.1103/PhysRevLett.116.063601 VL - 116 SN - 0031-9007 ER -