TY - JOUR AU - J. Teufel AU - T. Donner AU - Dale Li AU - J. Harlow AU - M. Allman AU - K. Cicak AU - A. Sirois AU - J. Whittaker AU - Konrad Lehnert AU - R. Simmonds BT - Nature DA - 2011-07 DO - 10.1038/nature10261 PY - 2011 SP - 359 EP - 363 T2 - Nature TI - Sideband cooling of micromechanical motion to the quantum ground state VL - 475 ER -